일본산 반도체 핵심재 포토레지스트, 수출규제 후 처음 국내 반입

"2차 허가분 포함 최대 9개월치 확보"…에칭가스 등은 여전히 허가 '제로'

삼성전자 클린룸 반도체 생산현장. /제공=삼성전자

일본 정부가 한국에 대한 수출규제를 발표한 이후 처음으로 일본산 반도체 핵심소재 포토레지스트(PR·감광액)가 국내 반입된 것으로 알려졌다.

업계에 따르면 지난달 한국에 대한 3개 핵심소재 수출규제를 발표한 이후 처음으로 21일 일본산 포토레지스트가 항공편을 통해 반입됐다.

삼성전자의 주문을 받은 한 일본 업체의 수출 신청에 대해 일본 정부가 이달초 처음으로 허가 결정을 내린 물량으로 알려졌다.

이번에 들어온 물량이 약 3개월치로 알려진 1차 허가분의 전부인지 일부인지는 확인되지 않았다.

이번 물량은 삼성전자 화성 반도체 공장의 극자외선(EUV) 생산라인으로 옮겨질 것으로 전해졌다. 

업계에서는 1차 수출 허가는 신에츠(信越)화학이, 2차 허가는 JSR이 각각 받았다는 추측을 내놓고 있다.

EUV 포토레지스트는 일본 정부의 수출규제 품목 3가지 중 하나로 시스템반도체 등 초미세 공정에 필수적인 소재다. 아직 국산화가 불가능한 소재로 꼽힌다.

일본 정부는 7일과 19일 등 두 차례 EUV 포토레지스트에 대한 수출을 허가한 바 있다. 이로써 삼성전자는 최대 9개월치를 확보, 당분간 EUV 라인 가동에는 문제가 없을 것이라는 관측이 나왔다. 

 

그러나 아직 고순도 불화수소(HF)와 플루오린 폴리이미드(FPI)는 단 한건도 수출 허가를 받지 못한 것으로 알려졌다.