“삼성, 벨기에서 반도체 소재 조달” 日오보 논란, 박재근 교수 “인터뷰한 적 없어”

삼성전자가 일본의 반도체 소재 수출규제에 대한 돌파구로 벨기에에서 이미 핵심 소재 일부를 조달하고 있는 것으로 전해졌다. 사진은 반도체인 포토레지스트. /연합뉴스

삼성전자가 일본의 반도체 소재 수출규제에 대한 돌파구로 벨기에에서 이미 핵심 소재 일부를 조달하고 있는 것으로 전해졌다. 11일 삼성전자 간부 출신인 박재근(반도체공학) 한양대 교수를 인용한 일본 닛케이 아시안 리뷰에 따르면 삼성전자는 최첨단 칩 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼에 회로 패턴을 저장하는 데 사용하는 화학물질인 포토레지스트(감광액)를 6~10개월 단위 물량으로 구입하고 있다.

삼성전자 재직 시 반도체 부문을 담당했던 박 교수는 닛케이 아시안 리뷰를 통해 “삼성전자가 벨기에에 소재한 한 업체에서 포토레지스트를 조달하고 있다”며 “일본의 수출규제 효과는 제한적이게 됐다”고 말했다.

이날 니혼게이자이신문도 삼성전자가 포토레지스트 대체 공급원을 확보했다고 전하면서 일본 정부의 수출규제가 한국 기업에 미치는 영향이 제한적일 것이라는 박 교수의 발언을 소개했다.

벨기에 공급업체 이름이 정확하게 공개되지 않았지만 일본 기업 JSR와 벨기에 연구센터 IMEC가 2016년 설립한 합작법인 EUV레지스트일 것으로 매체는 추정했다. 이 합작회사의 최대 주주는 JSR의 벨기에 자회사인 JSR마이크로다. 아울러 매체는 JSR 사정에 밝은 한 소식통이 일본 정부의 수출 규제 조치가 발표된 후인 지난 7월 중순 “벨기에에 있는 우리의 조인트 벤터를 통해 (삼성에) 포토레지스트를 공급할 것”이라면서 “IMEC과 손을 잡고 거기(벨기에)에서 포토레지스트를 생산할 수 있다”고 언급했던 내용을 덧붙였다.

다만 소식통은 벨기에 공급업체지만 일본 기업이 관여해 있어 “제3국에 있는 시설을 통해 (한국에) 포토레지스트를 공급하는 것은 합법적으로 이뤄져야 한다”며 일본 정부의 감시를 받을 수도 있음을 알렸다.

삼성전자는 지난달 4일부터 일본 정부가 한국으로 수출하는 포토레지스트, 고순도 불화수소(에칭가스), 불화폴리이미드 등 반도체·디스플레이 3개 소재 품목의 수출규제를 강화하자 공급처 확보에 총력을 쏟았다.

그러나 보도 직후 박 교수는 닛케이와 인터뷰를 한 사실이 없음을 본지에 알려왔다. 박 교수는 “8월 9일 닛케이로부터 전화로 인터뷰 요청을 받았으나 인터뷰를 정중히 거절했다”며 “닛케이와 직접 통화를 하지 않았음에도 닛케이 보도자료에는 내가 마치 인터뷰를 한 것처럼 내용을 보도하고 있다”고 해명했다. 이어 “인터뷰를 한 적이 없기 때문에 닛케이에서 보도한 내용은 내가 인터뷰를 한 것이 아님을 밝힌다”고 덧붙였다.

박 교수 측은 “닛케이에 공식 항의 요청을 한 상태”라고 강조했다.