반도체 LPCVD(화학기상증착장비) 업체인 유진테크는 20일부터 22일까지 3일간 서울 삼성동 코엑스에서 열리는 '세미콘코리아 2009'에 참가해 신제품을 선보인다고 20일 밝혔다.
유진테크는 하이닉스 및 삼성전자에 납품하고 있는 LPCVD업체로 이번 새 플라즈마 장비는 저온공정을 타깃으로 하는 장비로 750도 이상에서만 공정을 수행하던 기존 LPCVD에 비해 300~800도의 범위에서 작업이 가능하다고 회사측은 전했다.
엄평용 대표이사는 "당사의 플라즈마 장비는 박막 증착을 넘어서 확산 공정까지 구현가능한 장비로 향후 반도체 제조공정이 초미세 공정으로 진화됨에 따라 적용공정의 폭이 넓은 것이 특징"이라고 말했다.
유진테크는 하이닉스 및 삼성전자에 납품하고 있는 LPCVD업체로 이번 새 플라즈마 장비는 저온공정을 타깃으로 하는 장비로 750도 이상에서만 공정을 수행하던 기존 LPCVD에 비해 300~800도의 범위에서 작업이 가능하다고 회사측은 전했다.
엄평용 대표이사는 "당사의 플라즈마 장비는 박막 증착을 넘어서 확산 공정까지 구현가능한 장비로 향후 반도체 제조공정이 초미세 공정으로 진화됨에 따라 적용공정의 폭이 넓은 것이 특징"이라고 말했다.
