불산액 국산화 진척에 日 정부의 수출규제 실익 잃어가
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3일 업계에 따르면 SK하이닉스는 지난 1일부터 국내 중소기업 램테크놀러지 제품의 액체 불화수소(불산액)를 양산 라인에 투입한 것으로 전해졌다.
불화수소는 반도체 공정에서 회로에 패턴을 형성하는 식각(Etching) 공정에 주로 쓰이는 소재로, 반도체 생산 과정에서 기체 형태의 불화수소(에칭가스)보다 불산액의 양이 더 많이 필요하다. 그러나 불산액은 에칭가스와 달리 올해 7월 일본 정부가 불화수소·포토레지스트·플루오린 폴리이미드 등 3개 품목 수출 규제안을 발표한 후 한 건의 허가도 나지 않아서 국내 업체들의 우려가 컸다.
앞서 삼성전자도 이런 이유로 지난달께 불산액 일부를 국산품으로 대체하려는 시도를 했다. 민감도가 낮은 공정을 중심으로 품질 테스트 중인 삼성전자도 SK하이닉스에 이어 양산 라인에 국산 제품을 투입할 것이란 관측이 나오는 이유다.
업계 관계자는 “일본제 불화수소 제품이 여전히 필요하지만 민감도가 덜한 공정에 쓰기에는 일본 제품이 필요 이상으로 고성능인 면이 있다”며 “수출 규제를 겪은 국내 업체들이 리스크 관리 차원에서라도 국산 불산액을 어느 정도는 쓸 것 같다”고 말했다.
국산화 소식이 아직 들리지 않는 에칭가스는 불산액과 달리 수입이 무난히 이뤄지는 모습이다. 산업통상자원부는 지난달 30일 에칭가스 1건, 플루오린 폴리이미드 1건, 포토레지스트 3건 등 5건이 수출 허가를 받았다고 밝혔다. 또한 이날 삼성전자와 SK하이닉스가 각각 1건씩 신청한 에칭가스 수출 허가 건수가 추가로 확인됐다.
에칭가스는 8월 말 삼성전자의 주문한 소재가 수입된 바 있다. 이번에 추가로 수출 허가를 받으면 국내 업체들이 생산에 필요한 물량은 확보될 것으로 예상된다. 불화수소의 보관 가능 기간은 3개월가량이라 국내 업체들이 한 달치 정도의 재고만 보유한 것으로 예상된다.
일부 소재에 대한 국산화 성공은 일본 정부 향후 움직임에도 영향을 줄 것으로 보인다. 일본의 소재 기업들이 삼성전자·SK하이닉스에 크게 의존하는 데다, 일본 정부의 규제에 대응해 제3국을 통한 우회 수출에 나설 가능성이 커서 일본 정부도 규제의 고삐를 세게 쥘 수 없는 상황이다. 대표적인 예가 삼성전자의 극자외선(EUV) 포토레지스트 수입 건이다. 삼성전자는 일본의 포토레지스트 제조업체인 JSR와 벨기에 연구센터 IMEC가 2016년 설립한 합작법인을 통해 최근 EUV 포토레지스트를 수입한 것으로 알려졌다.
산업통상자원부도 지난달 말 ‘올 9월 수출입 동향’을 발표하면서 “지금까진 우리보다 일본 영향이 더 크게 나타나고 있다”며 “반도체 장비 수입이 줄어든 점도 있지만 불매 운동으로 소비자 분야 감소도 작용한 것 같다”고 분석해 이런 관측에 힘이 실린다.
