반도체 장비, 1000억달러 시장 열린다…글로벌 장비사 역대급 호실적

ASML 순이익 전년比 38% 급증
반도체 장비 시장 1000억달러 뚫나
장비사 CEO들 너도 나도 "수요가 넘친다"

반도체 장비사들이 역대급 실적을 잇달아 내놓고 있다. 전세계적인 반도체 공급부족으로 제조사들이 공정 개선과 신규 팹 투자를 추진하고 있기 때문이다. 세계 최대 반도체 위탁생산(파운드리) 기업 TSMC, 메모리반도체 1위 삼성전자, 인텔 등 빅플레이어뿐만 아니라 대만 난야, 미국 마이크론과 글로벌파운드리도 설비투자를 발표했다. 반도체 장비사들은 장비 반입이 본격화되는 내년 시장 규모가 1000억 달러에 이를 것이란 전망도 내놓는다.

22일 네덜란드 반도체 장비사 ASML에 따르면 회사는 올해 4~6월 매출 40억2000만 유로(약 5조 4520억원), 순이익 10억3000만 유로(약 1조3900억원)를 기록했다. 전년 동기대비 매출은 22%, 순이익은 38% 급증했다.

이번 호실적은 극자외선(EUV) 장비가 견인했다. EUV 장비는 전세계에서 ASML이 사실상 독점 생산한다. 한 대당 가격이 1500억원에서 2000억원을 웃도는데 돈만 있다고 살 수도 없다. 이미 수년치 예약을 삼성전자, TSMC, 인텔 등이 독차지하고 있어서다. 5㎚ 이상 첨단 반도체 생산에 필수인 EUV 장비는 세계 각국의 주문이 몰리고 있다.

ASML 측은 “2분기 초미세공정용 EUV 노광장비 수주액이 지난 1분기말보다 75% 증가한 83억 유로로 집계됐다”고 밝혔다. 오는 2024년 준공을 목표로 미국 공장을 짓고 있는 TSMC와 D램 생산에 EUV 장비를 적용하려는 삼성전자가 주요 고객사로 추정된다.

미국 반도체 장비·재료 기업 어플라이드 머티리얼즈는 올해 2분기(미국 회계연도) 순매출 55억8000만 달러(약 6조 4142억), 순이익 13억3000만 달러(약 1조 5288억원)를 기록했다고 밝혔다. 전년 동기 대비 매출은 41%, 순이익은 76%나 늘었다. 영업이익률은 47%에 달했다.

국내에서는 후공정 장비사인 한미반도체가 2분기 ‘어닝서프라이즈’를 기록했다. 한미반도체는 올해 2분기 매출 1087억원, 영업이익 357억원을 기록했다고 밝혔다. 금융투자업계에서 예상했던 컨센서스 매출 896억원, 영업이익 271억원을 크게 웃도는 사상 최대 실적이다. 한미반도체는 TSMC는 물론 SK하이닉스, 마이크론 등에 후공정 장비를 공급해왔다.

반도체 장비 시장의 호황은 당분간 지속될 전망이다. 일단 TSMC가 올해 280억 달러(약 32조원)를 투자한다. 대만 기존 팹에 대한 투자는 물론 미국 애리조나주 신공장 투자 비용을 모두 포함한 것이다. TSMC의 첨단 제품은 대부분 대만에서 생산하는데 벌써 3㎚ 선폭의 첨단 반도체 시제품을 생산하고 있다. TSMC는 3㎚ 반도체 생산을 위한 EUV 장비를 더 사들일 것으로 알려졌다. TSMC가 오는 2024년까지 투자하겠다고 밝힌 금액만 1280억 달러(약 147조원)에 이른다. 인텔은 200억 달러를 들여 애리조나주에 파운드리 공장 2곳을 짓고 있다. 글로벌파운드리는 싱가포르에 40억 달러를 투자해 새 공장을 짓는데 이어 뉴욕 신규 공장도 검토하고 있다.

곽동신 한미반도체 부회장은 “5G, 메타버스, 자율주행 및 커넥티드카, V2X(차량사물통신), 인공지능, 데이터센터 등 4차 산업의 활성화로 인한 반도체 수요 증가로 지난해부터 호실적을 이어가고 있다”고 밝혔다. 페터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 “모든 시장 부문과 제품 포트폴리에서 높은 수요가 나타나고 있다”며 “올해 전체 예상 매출을 기존보다 35%이상 상향 조정할 것”이라고 말했다. 게리 디커슨 어플라이드 머티리얼즈 CEO는 “반도체 산업 전반에 강력한 장비 수요가 실적을 끌어올리고 있다”고 했다.

한편 반도체 제조 장비 재료 협회(SEMI)는 내년 반도체 장비 매출이 역대 최대치인 1000억 달러를 달성할 것으로 예상했다. 글로벌 빅5 반도체 장비사에 해당하는 도쿄일렉트론, 램리서치, KLA텐코도 조만간 2분기 실적을 발표한다. 램리서치는 오는 28일, KLA텐코는 오는 29일 실적 발표를 앞뒀다.