‘삼성 EUV 추격’ 中 SMIC 전략 차질…ASML, 美 레이저 기술 지키려 결단

ASML, 中 수출 위한 라이센스 재발급 포기
"ASML, 트럼프 임기 내 중국 납품 없을 듯"
中 반도체 굴기 사실상 타격…삼성 부담 덜어

삼성전자가 차세대 반도체 생산 경쟁에서 중국의 추격을 뿌리치게 됐다. 세계 유일의 극자외선(EUV) 노광장비 생산업체인 네덜란드 ASML이 도널드 트럼프 미국 대통령 재임 동안 중국업체에 EUV 노광장비를 팔지 않기로 결정했기 때문이다.

11일 업계에 따르면 ASML은 최근 중국 파운드리 업체 SMIC에 대한 EUV 노광장비 수출 포기를 결정한 것으로 전해졌다. EUV 노광장비는 차세대 반도체 생산에 꼭 필요한 기계다. ASML은 그동안 네덜란드 외교부를 통해 수출에 필요한 라이선스를 재발급받는다는 입장이었지만, 사실상 납품을 포기하는 쪽으로 가닥을 잡은 것이다.

ASML 내부 소식에 정통한 관계자는 “SMIC가 미국 안보에 위협이 되는 화웨이에 반도체를 납품한다며 미국 정부에서 문제제기했다”며 “2013년 인수한 미국 사이머사의 광원(레이저) 기술이 EUV 노광장비에서 중요한 역할을 하는데, 미국의 원천기술로 만든 제품이 전략물자로 전용되는 것을 용납할 수 없다는 것이 미국 측의 단호한 입장이었다”고 밝혔다. 그러면서 “회사 측은 장비 구매 대기자들도 많으니 무리할 필요가 없다고 판단, 트럼프 대통령 임기 동안은 중국 쪽에 팔지 않기로 결정했다”고 덧붙였다.

앞서 니혼게이자이신문은 ASML이 SMIC가 지난해 주문한 EUV 노광장치를 연내 넘기려던 출하 계획을 중단했다고 전했다. 네덜란드 에인트호벤 지역 언론에 따르면 미국 정부는 ASML의 EUV 노광장비가 ‘바세나르 협약’이 규정하는 전략물자에 해당한다며 수출 금지를 네덜란드 당국에 요청했다고 보도했다. 아울러 ASML이 수출 관련 라이선스를 연장하기 위해 네덜란드 당국의 결정을 기다리고 있다고 전했다.

바세나르 협약은 무기로 전용될 수 있는 전략물자의 국가간 수출입을 통제한다는 내용을 담고 있다. 중국은 이 협약에 가입되지 않은 국가로 ASML이 장비를 수출하려면 네덜란드 당국으로부터 라이센스를 받아야만 한다.

더욱이 ASML은 EUV 노광장비 생산에 필수인 광원(레이저) 부품을 광원업체 사이머에 전적으로 의존하고 있다. 미국 회사인 사이머는 전세계 광원 시장의 70% 이상을 점유했다. ASML은 2013년 사이머의 지분을 100% 인수했고, 전세계적인 독과점 체제가 형성되는 관계로 인수합병 당시 우리나라를 비롯해 미국·독일·이스라엘·일본의 허가를 받아야 했다. 미국 정부 입장은 자신들의 원천 기술로 생산된 전략물자가 안보 위협국에 쓰이는 것을 용납할 수 없다는 것이다.

장비 구매자인 SMIC는 중국 반도체 굴기의 선봉장이다. SMIC는 반도체 고용량화로 수요가 느는 7나노 이하 차세대 반도체 생산에 주력하고 있다. 특히 후발주자인 SMIC가 이 분야를 선점할 경우 삼성전자·TSMC 등 선발주자를 제칠 수 있다. 이를 위해 중국 정부는 SMIC에 막대한 지원을 쏟고 있다. 국제반도체장비재료협회(SEMI)에 따르면 올 2분기 글로벌 반도체장비 출하액은 133억 달러로, 이 가운데 중국은 33억6000만 달러로 전세계에서 가장 많은 반도체장비를 사들인 것으로 나타났다.

그러나 제 아무리 중국 정부가 전폭적인 지원을 해도 EUV 노광장비 없이 차세대 반도체 생산은 불가능하다. 반도체용 노광장치는 ASML·니콘·캐논 3개사만이 공급하는데 EUV 노광장비는 한대 가격이 150억엔(약 1602억원)에 이르며 ASML이 유일한 생산자다. 이번 ASML의 결정에 따라 삼성전자를 위협하던 중국의 위협은 사라진 셈이다.

이주완 하나금융경영연구소 연구위원은 “현재는 전체 반도체 생산에서 EUV 공정이 차지하는 비중이 적어 이런 제재가 가능한 것”이라며 “전략물자 수출은 국가간 이동을 제재하는 것으로 중국 땅에 있는 다른 나라 고객사에서 EUV 공정으로 반도체를 생산할 때가 오면 네덜란드는 다시 팔 거다. 이번 조치가 갖는 진짜 의미는 미국이 중국의 기술굴기를 견제할 수단을 언제든 찾아낼 수 있다는 데 있다”고 말했다.