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같은 기간 매출은 77억4200만 유로(약 12조5523억원)로 전년동기대비 46% 증가했다.
극자외선 공정(Extreme UltraViolet·EUV) 장비와 차세대 EUV 장비인 하이(High) NA(Numerical aperture) 등이 매출 확대를 이끌었다.
예약매출은 EUV 12억 유로를 포함해 39억 유로(약 6조 3231억원)를 기록했다.
크리스토프 푸케 ASML 최고경영자는 "1분기에 다섯 번째로 High NA 장비를 인도해 고객사 3곳에서 High NA 장비를 보유하게 됐다"고 말했다.
그러면서 "2분기 매출은 72억 ~77억 유로, 매출 총이익률은 50~53%이 될 것"이라고 전망했다.
올해 매출은 300억 ~ 350억 유로, 매출 총이익률은 51~53%이 될 것으로 내다봤다.
2분기 실적발표는 오는 7월 16일(현지시간) 발표될 예정이다.