교육부 83억원 지원…수차보정 주사투과전자현미경 중심 첨단 분석시설 개소
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이번에 교육부로부터 83억 원을 지원받아, 수차보정 주사투과전자현미경을 핵심 장비로 하는 전문 분석시설을 갖추면서 차세대 반도체 연구와 산학연 공동연구에도 한층 속도가 붙을 전망이다.
가천대 바이오나노융합소재연구센터는 10일, 대학 제3학생생활관에서 수차보정 투과전자현미경실 개소식을 열고 본격적으로 연구 인프라를 운영하기 시작했다.
이날 행사에는 윤원중 가천대 부총장과 한상윤 바이오나노융합소재연구센터장, 그리고 교육부 인프라 고도화 지원사업에 참여한 연구진과 반도체·나노 분야 산학연 관계자들이 함께했다.
이번에 구축된 시설에는 수차보정 주사투과전자현미경 뿐 아니라, 에너지 분산 분광기(EDS), 전자 에너지 손실 분광기(EELS), 주사 세차회전 전자회절(SPED), 전자빔 유도 전류 측정 시스템(EBIC) 등 다양한 분석 장비가 들어섰다.
또, 실시간으로 전압을 걸 수 있는 홀더와, 진공 상태에서 시료를 이송하고 냉각할 수 있는 장비까지 갖추어 반도체 소재와 소자의 구조적 특성은 물론, 전기적 특성까지 한눈에 분석할 수 있도록 했다.
특히 이번 인프라는 서브나노미터급 영역에서도 반도체 소자의 특성을 넓은 범위로 파악하는 특성 매핑과, 실제 소자가 작동하는 환경에서의 변화를 직접 관찰할 수 있는 오퍼란도 연구가 가능한 것이 큰 특징이다.
이로써 연구진은 반도체 소재의 원자 단위 구조 분석은 물론, 대면적 특성 분석이나 실제 환경에서의 소자 변화 관찰 등 연구 범위를 한층 확장할 수 있게 됐다.
가천대는 지난해 교육부의 '2025년 인프라 고도화 지원사업'에 선정돼 이번 연구시설 구축을 추진했다. 반도체물리학과, 반도체공학과, 전자공학과 교수진이 힘을 모아 연구 역량을 더했다.
대학 측은 새로 마련한 연구시설을 적극 활용해 차세대 반도체 소자와 첨단 분석기술 개발에 나서는 동시에, 대학·연구기관·기업 간 공동연구도 꾸준히 확대할 계획이다.
한상윤 바이오나노융합소재연구센터장은 "새롭게 마련한 연구 인프라를 바탕으로 대학과 연구기관, 기업이 함께하는 공동연구를 넓히고, 차세대 반도체 소자와 분석기술 개발에 본격적으로 나설 예정"이라고 밝혔다.
