촉매 기반 RCS 기술력 입증…사업 연속성 확보
반도체 투자 확대 맞춰 해외 시장 공략 강화
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27일 에코프로에이치엔은 삼성E&A와 330억원 규모의 중앙식 온실가스 저감 시스템(RCS) 공급 계약을 체결했다고 밝혔다. 공급되는 설비는 국내 반도체 생산시설에 도입될 예정이다.
RCS는 반도체 공정에서 발생하는 과불화화합물(PFCs)을 처리하는 대용량 온실가스 저감 설비다. PFCs는 이산화탄소(CO₂)보다 지구온난화지수(GWP)가 수천~수만 배 높은 온실가스로 반도체 제조 공정에서 주요 환경 관리 대상으로 꼽힌다.
에코프로에이치엔은 촉매 기반 저온 분해 기술을 적용해 기존 열분해 방식보다 낮은 약 750~800℃에서 온실가스를 처리할 수 있다고 설명했다. 기존 1300~1400℃ 수준의 공정보다 에너지 사용량을 약 95% 줄이면서도 높은 온실가스 제거 효율을 확보했다는 것이다.
에코프로에이치엔은 국내 반도체 기업들의 해외 생산거점 확대에 맞춰 북미를 비롯한 글로벌 반도체 기업으로 고객사를 확대할 계획이다.
에코프로에이치엔 관계자는 "이번 수주는 독보적인 온실가스 저감 기술력과 설비 신뢰성을 다시 인정받은 결과"라며 "국내를 넘어 글로벌 반도체 시장으로 고객 기반을 지속 확대해 나가겠다"고 말했다.










